Ferroelectric Memory PET with Pt/SrBi_2Ta_2O_9/Hf-Al-O/Si Gate Structure

Ferroelectric Memory PET with Pt/SrBi_2Ta_2O_9/Hf-Al-O/Si Gate Structure
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具有Pt/SrBi_2Ta_2O_9/Hf-Al-O/Si栅极结构的铁电记忆PET

DOI：
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发表时间：
2004
期刊：
Extended Abstracts of 2004 International Workshop on Dielectric Thin Films for Future ULSI Devices - Science and Technology 2004
影响因子：
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通讯作者：
Mitsue Takahashi
Mitsue Takahashi
中科院分区：
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文献类型：
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作者：
Shigeki Sakai;Rajangam Ilangovan;Mitsue Takahashi

文献摘要

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