Spherical MgO microparticle deposition by RF impulse discharge with small coaxial electrode

Spherical MgO microparticle deposition by RF impulse discharge with small coaxial electrode
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小同轴电极射频脉冲放电沉积球形氧化镁微粒

DOI:
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发表时间:
2009
期刊:
Thin Solid Films 518
影响因子:
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通讯作者:
Takumasa Muraoka
Takumasa Muraoka
中科院分区:
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文献类型:
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作者:
南川雅男(共著);Takumasa Muraoka

文献摘要

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