プロピレンを用いた対向拡散CVD法によるCarbon-SiO2膜の作製と気体透過特性
プロピレンを用いた対向拡散CVD法によるCarbon-SiO2膜の作製と気体透過特性
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利用丙烯对向扩散CVD法制备碳-SiO2薄膜及其气体渗透性能
DOI：
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发表时间：
2013
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
山本正基，吉岡朋久，長澤寛規，金指正言，都留稔了
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Tomohisa Yoshioka;Shintaro Narukiyo;Toru Wakihara;Takeyuki Iida;Hiroki Nagasawa;Masakoto Kanezashi;Tatsuya Okubo;Toshinori Tsuru;山本正基，吉岡朋久，長澤寛規，金指正言，都留稔了
