菅原実: "Generation of a highly uniform and dense plasma by distributing hollow cathode on the electrode surface." Surface and coating Technology. 73. 1-4 (1995)
菅原実: "Generation of a highly uniform and dense plasma by distributing hollow cathode on the electrode surface." Surface and coating Technology. 73. 1-4 (1995)
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Minoru Sukawara：“通过在电极表面分布空心阴极来生成高度均匀和致密的等离子体。”表面和涂层技术。
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