超精密加工機におけるレーザー測長誤差のための環境補正装置の開発
超精密加工機におけるレーザー測長誤差のための環境補正装置の開発
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超精密加工机激光测长误差环境校正装置的研制
DOI：
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发表时间：
2007
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
山口勝己(他4名 2番目)
中科院分区：
文献类型：
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作者：
足立和俊;山口勝己(他4名 2番目)
