田部 道晴: "Nitridation and subsequent oxidation process of Si (111) and (100) surfaces for high-density Si pillar formation" Applied Surface Science. (発行予定). (1997)

田部 道晴: "Nitridation and subsequent oxidation process of Si (111) and (100) surfaces for high-density Si pillar formation" Applied Surface Science. (発行予定). (1997)
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Michiharu Tabe:“用于高密度硅柱形成的 Si (111) 和 (100) 表面的氮化和后续氧化过程”《应用表面科学》(即将出版)。

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