振動環境でも利用できる垂直走査型光干渉応用形状計測技術
振動環境でも利用できる垂直走査型光干渉応用形状計測技術
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可应用于振动环境的垂直扫描光学干涉形状测量技术
DOI：
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发表时间：
2009
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
1番目)
中科院分区：
文献类型：
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作者：
安達正明(他3名;1番目)
