パルスレーザ堆積法による薄膜作製プロセスにおける再現性向上の試み
パルスレーザ堆積法による薄膜作製プロセスにおける再現性向上の試み
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尝试使用脉冲激光沉积方法提高薄膜制造工艺的再现性
DOI：
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发表时间：
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期刊：
影响因子：
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通讯作者：
西川博昭
中科院分区：
文献类型：
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作者：
中林一世;野中蔵人;原崎隆道;楠正暢;速水尚;本津茂樹;西川博昭
