Superconducting characteristics of NbN films deposited by atomic layer deposition (ALD) process
Superconducting characteristics of NbN films deposited by atomic layer deposition (ALD) process
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原子层沉积（ALD）工艺沉积NbN薄膜的超导特性
DOI：
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发表时间：
2016
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Go Fujii
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Masahiro Ukibe;Go Fujii
