Improvement in Sputtering Rate Uniformity over Large Deposition Area of Large-Scale Ion Beam Sputtering System
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大型离子束溅射系统大沉积区域溅射速率均匀性的改善
DOI：
10.7566/jpscp.33.011092
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发表时间：
2021
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Soyama Kazuhiko
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Maruyama Ryuji;Yamazaki Dai;Akutsu-Suyama Kazuhiro;Hanashima Takayasu;Miyata Noboru;Aoki Hiroyuki;Soyama Kazuhiko
