テクスチャリングプロセスを用いた高規則性半導体ナノホールアレーの形成

テクスチャリングプロセスを用いた高規則性半導体ナノホールアレーの形成
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使用纹理化工艺形成高度有序的半导体纳米孔阵列

DOI:
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发表时间:
2020
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
増田啄哉,柳下 崇,益田秀樹
増田啄哉,柳下 崇,益田秀樹
中科院分区:
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文献类型:
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作者:
Huihong Liu;Hidetoshi FUJII;増田啄哉,柳下 崇,益田秀樹

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