統合Si酸化反応モデルの実験的検証(3):界面酸化の活性化エネルギー
統合Si酸化反応モデルの実験的検証(3):界面酸化の活性化エネルギー
复制标题
集成硅氧化反应模型的实验验证（三）：界面氧化活化能
DOI：
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发表时间：
2008
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
小川修一
中科院分区：
文献类型：
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作者：
S. Ogawa;et. al.;小川修一
