HPRとNF弁を用いた電空ハイブリッド超精密鉛直位置決めステージの制御
HPRとNF弁を用いた電空ハイブリッド超精密鉛直位置決めステージの制御
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使用 HPR 和 NF 阀控制电空混合超精密垂直定位平台
DOI：
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发表时间：
2015
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
加藤友規，平川鉄磨
中科院分区：
文献类型：
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作者：
阿部淳;北川一敬;大谷清伸;Tomonori KATO;K. Horiuti;K. Horiuti;加藤友規，平川鉄磨
