Kazuo Nakamae: "Surface alternation of amorphous Si_3N_4 films by ArF excimer laser irradiation" Jpn.J.Appl.Phys.34. L1482-L1485. (1995)
Kazuo Nakamae: "Surface alternation of amorphous Si_3N_4 films by ArF excimer laser irradiation" Jpn.J.Appl.Phys.34. L1482-L1485. (1995)
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Kazuo Nakamae：“通过 ArF 准分子激光照射非晶 Si_3N_4 薄膜的表面交替”Jpn.J.Appl.Phys.34。
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