アモルファス構造を有するシリコン系膜のサブナノ細孔制御と分離プロセスへの展開
アモルファス構造を有するシリコン系膜のサブナノ細孔制御と分離プロセスへの展開
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非晶结构硅基膜的亚纳米孔控制及其在分离过程中的应用
DOI：
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发表时间：
2022
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
都留稔了
中科院分区：
文献类型：
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作者：
H. Toda;M. Yamaguchi;T. Tsuru;K. Shimizu;K. Hirayama;K. Ebihara;K. Matsuda;都留稔了
