Production of a periodic plasma structure by 400 kHz capacitively coupled discharge
Production of a periodic plasma structure by 400 kHz capacitively coupled discharge
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通过 400 kHz 电容耦合放电产生周期性等离子体结构
DOI：
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发表时间：
2013
影响因子：
0.9
通讯作者：
Kazuaki Miyamoto and Kazunori Takahashi
中科院分区：
文献类型：
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作者：
野口高明;木村眞;橋本隆仁;今野充;中村智樹;ZolenskyMichael;田中雅彦;藤村彰夫;安部正真;矢田達;向井利典;上野宗孝;岡田達明;白井慶;石橋之宏;上椙真之;唐牛譲;岡崎隆司;土山明;Kazuaki Miyamoto and Kazunori Takahashi
