リザーバ構造配線におけるエレクトロマイグレーション損傷の数値シミュレーションによるしきい電流密度の評価

リザーバ構造配線におけるエレクトロマイグレーション損傷の数値シミュレーションによるしきい電流密度の評価
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水库结构布线电迁移损伤数值模拟评估阈值电流密度

DOI:
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发表时间:
2012
期刊:
第22回マイクロエレクトロニクスシンポジウム論文集
影响因子:
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通讯作者:
鵜沼 潤
鵜沼 潤
中科院分区:
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文献类型:
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作者:
笹川和彦;柳 貴裕;鵜沼 潤

文献摘要

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