蒸着法によるβ-FeSi_2生成層への残留不純物の影響
蒸着法によるβ-FeSi_2生成層への残留不純物の影響
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残留杂质对气相沉积法β-FeSi_2生成层的影响
DOI：
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发表时间：
2006
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
石井 恂
中科院分区：
文献类型：
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作者：
M.Ishii;S.Hanamura;T.Miyata;T.Minami;石井 恂
