Highly Reliable Piezoelectric Actuator for Precision Stage System
Highly Reliable Piezoelectric Actuator for Precision Stage System
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用于精密平台系统的高可靠性压电执行器
DOI：
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发表时间：
2005
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
T.Ohmi
中科院分区：
文献类型：
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作者：
H.Hashiguchi;Y.Egashira;H.Furukawa;T.Endo;T.Kosaka;K.Kosaka;K.Uozumi;M.Watanabe;T.Yamakawa;N.Miyata;A.Nakada;H.Kubota;T.Ohmi
