Al2O3超薄膜層を挿入したSiO2/InAlN界面の特性―Al2O3膜厚依存性―
Al2O3超薄膜層を挿入したSiO2/InAlN界面の特性―Al2O3膜厚依存性―
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插入超薄 Al2O3 层的 SiO2/InAlN 界面特性 - Al2O3 膜厚依赖性 -
DOI：
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发表时间：
2017
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
赤澤 正道
中科院分区：
文献类型：
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作者：
清野 惇;赤澤 正道
