Sensitivity Dependences on Waveguide Position and Diaphragm Thicknessin Silicon-Based Guided-Wave Optical Accelerometer
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硅导波光学加速度计中波导位置和膜片厚度的灵敏度依赖性
DOI：
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发表时间：
2010
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Masashi Ohkawa
中科院分区：
文献类型：
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作者：
B.Dai;T.Kato;S.Iwata and S.Tsunashima;Masashi Ohkawa
