Development of rotary ultrasonic texturing method using one-point diamond tools for micro/nano-fabrication
Development of rotary ultrasonic texturing method using one-point diamond tools for micro/nano-fabrication
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开发使用单点金刚石工具进行微/纳米加工的旋转超声纹理方法
DOI：
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发表时间：
2015
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Tsunemoto Kuriyagawa
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Shaolin Xu;Ketia Shimada;Masayoshi Mizutani;Tsunemoto Kuriyagawa
