シリコンウェーハ研磨加工におけるウェーハエッジ部の表面形状創成過程－研磨パッド変形量がエッジ・ロールオフ生成に及ぼす影響－
シリコンウェーハ研磨加工におけるウェーハエッジ部の表面形状創成過程－研磨パッド変形量がエッジ・ロールオフ生成に及ぼす影響－
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硅晶圆抛光中晶圆边缘的表面形状形成过程 - 抛光垫变形对边缘滚落产生的影响 -
DOI：
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发表时间：
2014
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
佐竹うらら，榎本俊之
中科院分区：
文献类型：
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作者：
津田卓雄;中村卓司;阿保真;江尻省;西山尚典;鈴木秀彦;冨川喜弘;堤雅基;川原琢也;佐竹うらら，榎本俊之
