小型化硅微谐振式加速度计的实现与性能测试
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DOI：
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发表时间：
2016
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
苏岩
中科院分区：
文献类型：
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作者：
夏国明;裘安萍;吴志强;苏岩
