Sputtering Deposition of Titanium-Base Thin Films by Powder Target
Sputtering Deposition of Titanium-Base Thin Films by Powder Target
复制标题
粉末靶材溅射沉积钛基薄膜
DOI：
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发表时间：
2015
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Yoshiaki Suda
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Tamiko Ohshima;Takashi Maeda;Yuki Tanaka;Hiroharu Kawasaki;Yoshihito Yagyu;Takeshi Ihara;Yoshiaki Suda
