石英基板に成膜したMo/SI多層膜ミラーの精密除去法
石英基板に成膜したMo/SI多層膜ミラーの精密除去法
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石英衬底上Mo/SI多层膜镜的精密去除方法
DOI：
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发表时间：
2023
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
陳 軍
中科院分区：
文献类型：
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作者：
豊田 光紀;横山 諒;脇 俊太郎;角館 俊行;陳 軍
