Evaluation of the Initial Stage of Formation of Ti/Al Ohmic Contacts Using Photoresponse Method

Evaluation of the Initial Stage of Formation of Ti/Al Ohmic Contacts Using Photoresponse Method
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利用光响应法评估 Ti/Al 欧姆接触形成的初始阶段

DOI:
10.7567/jjap.52.08jn06
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发表时间:
2013
期刊:
Japanese Journal of Applied Physics (JJAP)
影响因子:
--
通讯作者:
and Gako Araki
and Gako Araki
中科院分区:
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文献类型:
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作者:
Kenji Shiojima;Hideo Yokohama;and Gako Araki

文献摘要

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