ALD-Al2O3膜の熱輸送特性
ALD-Al2O3膜の熱輸送特性
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ALD-Al2O3薄膜的热传输性能
DOI：
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发表时间：
2018
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
前田辰郎
中科院分区：
文献类型：
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作者：
中島佑太;内田紀行;大石佑治;町田龍人;藤代博記;服部淳一;福田浩一;前田辰郎
