Molecular Dynamics Investigation for Chemical Effects of Nanobubble Collapse on Precision Polishing
Molecular Dynamics Investigation for Chemical Effects of Nanobubble Collapse on Precision Polishing
复制标题
纳米气泡破裂对精密抛光化学效应的分子动力学研究
DOI：
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发表时间：
2019
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Yoshimasa Aoyama
中科院分区：
文献类型：
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作者：
上村 洋平;荒井 俊人;堤 潤也;松岡 悟志,山田 浩之;堀内 佐智雄;長谷川 達生;Yoshimasa Aoyama
