分子動力学法によるアモルファスシリコン酸化膜の真性応力評価
分子動力学法によるアモルファスシリコン酸化膜の真性応力評価
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利用分子动力学方法评估非晶氧化硅薄膜的本征应力
DOI：
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发表时间：
2015
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
井上 優，田中 展，泉 聡志，酒井 信介
中科院分区：
文献类型：
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作者：
H. Tanaka;M. Inoue;S. Izumi;S. Sakai;井上 優，田中 展，泉 聡志，酒井 信介
