大井 健, 中尾 政之: "局所スパッタリング用小形FABソースの開発" 日本機械学会 関東学生第35回発表会講演論文集. 201-202 (1996)

大井 健, 中尾 政之: "局所スパッタリング用小形FABソースの開発" 日本機械学会 関東学生第35回発表会講演論文集. 201-202 (1996)
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Ken Oi、Masayuki Nakao:“用于局部溅射的小型 FAB 源的开发”第 35 届关东学生演讲论文集,日本机械工程师学会 201-202 (1996)。

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