MEMSプロセスのための遠隔輸送型ホットワイヤ反応装置の開発
MEMSプロセスのための遠隔輸送型ホットワイヤ反応装置の開発
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开发用于MEMS工艺的远程传输热线反应器
DOI：
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发表时间：
2013
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
中康基,熊野勝文,江刺正喜,田中秀治
中科院分区：
文献类型：
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作者：
K. Tanaka;M. Kumano;S. Tanaka;中康基,熊野勝文,江刺正喜,田中秀治
