Selective Etching of Semiconductor Surfaces by Catalytic Activity of Nanocarbon
Selective Etching of Semiconductor Surfaces by Catalytic Activity of Nanocarbon
复制标题
通过纳米碳的催化活性选择性蚀刻半导体表面
DOI：
10.1380/vss.64.352
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发表时间：
2021
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
有馬健太
中科院分区：
文献类型：
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作者：
三栗野諒;小笠原歩見;川合健太郎;山村和也;有馬健太
