高アスペクト比構造へのCu-SCFDプロセス最適設計に向けたCu(tmhd)2のscCO2への溶解度と拡散係数の測定
高アスペクト比構造へのCu-SCFDプロセス最適設計に向けたCu(tmhd)2のscCO2への溶解度と拡散係数の測定
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测量 Cu(tmhd)2 在 scCO2 中的溶解度和扩散系数，以优化设计高纵横比结构的 Cu-SCFD 工艺
DOI：
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发表时间：
2022
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
師井 滉平，Huang Yuyuan，出浦 桃子，下山 裕介，霜垣 幸浩，百瀬 健
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Nakaya Yuki;Furukawa Shinya;師井 滉平，Huang Yuyuan，出浦 桃子，下山 裕介，霜垣 幸浩，百瀬 健
