Effects of Excess Energy on Thin Film Actuator Formation by Ion Plating Process
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过量能量对离子镀工艺形成薄膜致动器的影响
DOI：
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发表时间：
2014
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Chonlawich NIYOMUWAITAYA,Akitaka SAKAI,Mao Amano,Yumiko EZAKI,Ryoichi TOYODA,Takaaki IIJIMA,Akira Tonegawa,Yoshihito Matsumura
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Mao Amano; Yumiko Ezaki; Kadek Fendy Sutrisna; Yoshihito Matsumura;天野 真央,ニヨムワイタヤ チョンラウィット,酒井 彰崇,飯島 貴朗,利根川 昭,松村 義人;ニヨムワイタヤ チョンラウィット,酒井 彰崇,天野 真央,江崎 祐美子,松村 義人;豊田 椋一,宮田 俊平,橋本 真希,坂野 将太,飯島 貴朗,利根川 昭,松村 義人;Mao Amano,Chonlawich NIYOMUWAITAYA,Akitaka SAKAI,Ryoichi TOYODA,Takaaki IIJIMA,Akira Tonegawa,Yoshihito Matsumura;Chonlawich NIYOMUWAITAYA,Akitaka SAKAI,Mao Amano,Yumiko EZAKI,Ryoichi TOYODA,Takaaki IIJIMA,Akira Tonegawa,Yoshihito Matsumura
