塗布型 PHPS 水蒸気バリア膜における VUV 光焼成緻密化プロセスの解明
塗布型 PHPS 水蒸気バリア膜における VUV 光焼成緻密化プロセスの解明
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阐明涂层 PHPS 水蒸气阻隔膜的 VUV 光烘烤致密化过程
DOI：
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发表时间：
2021
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
硯里 善幸
中科院分区：
文献类型：
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作者：
佐々木 樹;孫 麗娜;黒澤 優;高橋 辰宏;硯里 善幸
