超精密位置決めにおける直動転がり案内の摩擦特性-荷重の大きさによる影響-

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直线滚动导轨超精密定位时的摩擦特性-负载大小的影响-

DOI:
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发表时间:
2012
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
田中淑晴
田中淑晴
中科院分区:
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文献类型:
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作者:
T. Tanaka;J. Otsuka;I. Masuda;Y. Aoyama and A. Inagaki;Tetsuya Akagi;田中淑晴;Shujiro Dohta(Tetsuya Akagi);田中淑晴

文献摘要

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