LP-CVDポリシリコン薄膜の疲労特性
LP-CVDポリシリコン薄膜の疲労特性
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LP-CVD多晶硅薄膜的疲劳性能
DOI：
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发表时间：
2009
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
陳
中科院分区：
文献类型：
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作者：
前田;小松;仮谷;村井;楠川;陳
