磁気混合流体を用いた磁場・電場同時印加による平面内微細V溝に対する精密研磨
磁気混合流体を用いた磁場・電場同時印加による平面内微細V溝に対する精密研磨
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使用磁性混合流体同时施加磁场和电场，对平面内的精细 V 形槽进行精密抛光
DOI：
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发表时间：
2021
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
西田均，島田邦雄，井門康司，山本久嗣
中科院分区：
文献类型：
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作者：
江口菜穂;小寺邦彦;山田洋平;那須野智江;小林健太;大野健太，伊達宏昭，金井理;西田均，島田邦雄，井門康司，山本久嗣
