Y.Takeo: "Two dimensional profile of a pulsed capacitively coupled plasma in Ar and CF_4/Ar" Proc.of 4.Int.Conf.on Reactive Plasmas. 249-250 (1998)
Y.Takeo: "Two dimensional profile of a pulsed capacitively coupled plasma in Ar and CF_4/Ar" Proc.of 4.Int.Conf.on Reactive Plasmas. 249-250 (1998)
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Y.Takeo：“Ar 和 CF_4/Ar 中脉冲电容耦合等离子体的二维轮廓”Proc.of 4.Int.Conf.on Reactive Plasmas。
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