Effect of power mode, target type and liquid nitrogen trap on the structure and tribological properties of MoSx coatings
Effect of power mode, target type and liquid nitrogen trap on the structure and tribological properties of MoSx coatings
复制标题
功率模式、靶材类型和液氮捕集器对MoSx涂层结构和摩擦学性能的影响
DOI：
10.1016/s0257-8972(01)01665-6
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发表时间：
2002
影响因子：
5.4
通讯作者：
J. Celis
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Jihui Wang;W. Lauwerens;E. Wieers;L. Stals;Jia;J. Celis
