T.Nakamura,K.Tachibana: "Quantum Chemical Study on Decomposition and Polymer Deposition in Perfluorocarbon Plasmas"Proceedings of Plasma Science Symposium 2001 (PSS-2001) and the 18^<th> Symposium on Plasma Processing (SPP-18). 173-174 (2001)

T.Nakamura,K.Tachibana: "Quantum Chemical Study on Decomposition and Polymer Deposition in Perfluorocarbon Plasmas"Proceedings of Plasma Science Symposium 2001 (PSS-2001) and the 18^<th> Symposium on Plasma Processing (SPP-18). 173-174 (2001)
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T.Nakamura,K.Tachibana:“全氟化碳等离子体中分解和聚合物沉积的量子化学研究”2001 年等离子体科学研讨会 (PSS-2001) 和第 18 次等离子体处理研讨会 (SPP-18) 的会议记录。

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