高誘電率(High-k)材料のエッチング反応
高誘電率(High-k)材料のエッチング反応
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高介电常数（High-k）材料的蚀刻反应
DOI：
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发表时间：
2010
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
高橋麗
中科院分区：
文献类型：
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作者：
高橋和生;高橋麗
