Etching and Surface Smoothing with Gas-Cluster Ion Beams
Etching and Surface Smoothing with Gas-Cluster Ion Beams
复制标题
使用气体团簇离子束进行蚀刻和表面平滑
DOI：
10.1557/proc-585-27
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发表时间：
1999
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
J. Hautala
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
D. Fenner;R. Torti;L. Allen;N. Toyoda;A. Kirkpatrick;J. Greer;V. Difilippo;J. Hautala
影响因子：
4.4
作者：
HAGENA, OF;OBERT, W
通讯作者：
OBERT, W