窒素を添加したDLC膜特性へのアニール効果
窒素を添加したDLC膜特性へのアニール効果
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添加氮退火对DLC薄膜性能的影响
DOI：
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发表时间：
2019
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
中澤日出樹
中科院分区：
文献类型：
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作者：
長内公哉;中村和樹;郡山春人;小林康之;遠田義晴;鈴木裕史;末光眞希;中澤日出樹
