Y.Ueda,H.Muta and Y.Kawai: "Effect of Electromagnetic Waves Propagating in the Periphery of Electron Cyclotron Resonance Plasma on the Uniformity"Jpn.J.Appl.Phys.. 38,7B. 4333-4337 (1999)
Y.Ueda,H.Muta and Y.Kawai: "Effect of Electromagnetic Waves Propagating in the Periphery of Electron Cyclotron Resonance Plasma on the Uniformity"Jpn.J.Appl.Phys.. 38,7B. 4333-4337 (1999)
复制标题
Y.Ueda、H.Muta 和 Y.Kawai：“在电子回旋共振等离子体外围传播的电磁波对均匀性的影响”Jpn.J.Appl.Phys.. 38,7B。
DOI：
--
复制
发表时间：
--
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
