TPD型放電を用いた大気圧プラズマの発生と真空インターフェースへの応用
TPD型放電を用いた大気圧プラズマの発生と真空インターフェースへの応用
复制标题
利用TPD型放电产生大气压等离子体并应用于真空接口
DOI：
--
复制
发表时间：
2016
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
難波愼一
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
渡瀬五常;牛尾公平;藤井正明;酒井誠;難波愼一;Jonathan R. Woodward;難波愼一
