Kunimasa Takahasi: "CF_X(X=1-3) Radical Controlled by On-Off Modulated Electron Cyclotron Resonance Plasma and Their Effects on Polymer Film Deposition" Jpn.J.Appl.Phys.33. 4181-4185 (1994)
Kunimasa Takahasi: "CF_X(X=1-3) Radical Controlled by On-Off Modulated Electron Cyclotron Resonance Plasma and Their Effects on Polymer Film Deposition" Jpn.J.Appl.Phys.33. 4181-4185 (1994)
复制标题
Kunimasa Takahasi：“开关调制电子回旋共振等离子体控制的CF_X(X=1-3)自由基及其对聚合物薄膜沉积的影响”Jpn.J.Appl.Phys.33。
DOI：
--
复制
发表时间：
--
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
