超臨界流体を用いた金属薄膜堆積 -メリットと展望-
超臨界流体を用いた金属薄膜堆積 -メリットと展望-
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使用超临界流体沉积金属薄膜-优点和前景-
DOI：
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发表时间：
2012
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
近藤英一
中科院分区：
文献类型：
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作者：
K. Inagaki;N. Fukatani;T. Miyawaki;K. Ueda;and H. Asano;近藤英一
