C.J.Lee, at al: "Phosphorus Doping Effect on Si_<1-x>Ge_x Epitaxial Film Growth in the SiH_4-GeH_4-PH_3 Gas System Using Ultraclean LPCVD" CVD XIV. PV97-25. 1356-1363 (1997)
C.J.Lee, at al: "Phosphorus Doping Effect on Si_<1-x>Ge_x Epitaxial Film Growth in the SiH_4-GeH_4-PH_3 Gas System Using Ultraclean LPCVD" CVD XIV. PV97-25. 1356-1363 (1997)
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C.J.Lee 等人：“使用超净 LPCVD 的 SiH_4-GeH_4-PH_3 气体系统中的磷掺杂对 Si_<1-x>Ge_x 外延薄膜生长的影响”CVD XIV。
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